硅磨削加工设备

硅磨削加工设备巩亚东,吕洋,王宛山,朱晓峰基于多传感器融合的磨削砂轮钝化的智能监测东北大学学报自然科学版年期陈延君黄云朱凯旋黄智精密砂带研磨特性研究及应用重庆大学学报自然科学版年期张梦华盛晓敏黄红武陈涛宓海青张海燕高速精密磨削数据共享系统的设计研究机床与液压年期赵恒华,冯宝富,高贯斌,蔡光起超高速磨削技术在机械制造领域中的应用东北大学学报自然科学版年期陆名彰,熊万里,黄红武,盛晓敏,吴耀,栾景美超高速磨削技术的发展及其主要相关技术湖南大学学报自然科学版年期赵恒华高兴军蔡光起超高速磨削的比磨削能研究全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集（二）年熊万里蔡海翔吕浪宓海青超高速磨削主轴系统的机电耦合动力学特性中国力学学会学术大会论文摘要集（下）年巩亚东王宛山于盛蓁超高速磨削砂轮气流场影响因素分析与研究第三届十省区市机械工程学会科技论坛暨黑龙江省机械工程学会年年会论文（摘要）集年。

硅磨削加工设备双面研磨机相比单面研磨机的单面磨削加工，是一种更为先进的双面研磨抛光设备点击：双面研磨机相比单面研磨机的单面磨削加工，是一种更为先进的双面研磨抛光设备，双面研磨机是采用内齿轮铸铁磨盘固定，而中心齿轮按一定的速度转动，从而带动个浮动齿轮转动，在双面研磨机对工件进行磨削过程中，中心齿轮转速可控制在以内。每个工件浮动齿板放个陶瓷芯片，它们既可相对铸铁磨盘中心转动，又可绕浮动齿轮中心转动，其运动轨迹是两个转动的合成。这样，陶瓷零件可随浮动齿板一起作圆周运动而被磨削，即上下平面同时被磨削，这样可使双面研磨机工件磨削得更均匀，达到较理想的表面粗糙度和平行度要求。工件上的平面可安装一外齿轮球磨铸铁研磨盘（双面研磨机刀具最主要的技术经济指标），随内齿轮一起转动时，陶瓷工件磨削力会加大，工件平面度也将相应提高。以上双面研磨机设备适于两平行面需要平面研磨加工的陶瓷零件，它可以保证平行度要求，磨削效率高。

硅磨削加工设备-单晶硅片是集成电路制造过程中最常用的衬底材料，硅片的表面层质量直接影响着器件的性能、成品率以及寿命。随着硅片尺寸的增大，新的硅片高效超精密平整化加工工艺得到了大量的研究，其中，具有高效率、高精度、低损伤等优点的硅片自旋转磨削技术正逐步成为抛光硅片和图形硅片背面减薄的主流加工技术。然而，磨削加工会不可避免地给硅片带来表面层损伤，该损伤会影响后续抛光工序的抛光时间和硅片的加工效率。目前，对硅片磨削表面层损伤机理的研究还不完善，深入研究硅片磨削表面层损伤机理对最终实现硅片的高效率、高精度、无损伤、超光滑表面的加工有着重要的指导意义。本文在深入分析硅片加工表面层损伤的研究现状及存在问题的基础上，对硅片自旋转磨削加工表面层损伤进行了研究。论文的主要研究工作有：结合硅片加工表面层损伤形式，分析硅片加工表面层损伤的检测技术，通过大量试验确定硅片磨削加工表面层损伤检测技术与试验方案。通过系统的和显微光谱检测分析，。